새로운 유리 마이크로 탐색

2022년 12월 29일

국제 익스트림 제조 저널(International Journal of Extreme Manufacturing)

프랑스 보르도 대학의 강렬한 레이저 및 응용 연구소(CELIA)의 레이저-물질 상호 작용 연구 그룹은 GHz 버스트 모드에서 펨토초 레이저를 사용하는 새로운 유리 마이크로 드릴링 방법을 탐색했습니다.

International Journal of Extreme Manufacturing 저널에 게재된 연구 팀은 GHz 버스트 영역에서 작동하는 Amplitude의 펨토초 레이저를 사용하여 균열 없이 매끄러운 내벽이 있는 테이퍼 없는 길쭉한 구멍을 드릴링할 수 있는 새로운 유리 미세 가공 방법을 연구했습니다. 유리에. 일반적으로 표준 단일 펨토초 펄스를 사용한 레이저 드릴링은 길이가 크게 제한되고 내부 표면이 거친 테이퍼형 구멍을 생성합니다.

이 새로운 레이저-물질 상호 작용 방식을 사용하면 화학적 에칭 없이 한 단계로 높은 종횡비의 구멍을 직접 드릴링할 수 있습니다. 레이저 버스트 매개변수의 선택은 가공된 구조의 뛰어난 미세 가공 품질을 달성하기 위해 매우 중요한 것으로 나타났습니다. 펨토초 레이저 GHz 버스트 모드는 실리콘 인터포저가 유리 인터포저로 대체될 가능성이 있는 마이크로 전자공학과 같은 새로운 응용 분야의 길을 열 수 있습니다.

추가 정보: Pierre Balage 등, 적외선 펨토초 레이저 GHz 버스트를 사용한 하향식 충격 드릴링을 통해 유리에 균열 없는 고종횡비 구멍, International Journal of Extreme Manufacturing(2022). DOI: 10.1088/2631-7990/acaa14